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华润微电子申请半导体器件制造方法专利降低了工艺流程的复杂程度以及制造成本

作者:小编    发布时间:2026-04-18 09:10:37    浏览量:

  国家知识产权局信息显示,无锡华润微电子有限公司申请一项名为“一种半导体器件的制造方法及半导体器件”的专利,公开号CN121865912A,申请日期为2024年10月。

  专利摘要显示,本申请涉及一种半导体器件的制造方法及半导体器件,所述方法包括:方法包括:提供衬底,其中衬底包括第一区域和第二区域,在第一区域的衬底内形成有源极;栅氧层位于第一区域,场氧层位于第二区域;形成栅电极层;形成氧化层覆盖栅氧层、栅电极层以及场氧层上的多晶硅层;形成覆盖栅电极层的绝缘侧墙,并去除所述绝缘侧墙外侧的部分所述栅氧层,进行金属自对准硅化工艺,以在所述源极的表面形成导电层;去除栅电极层顶部的绝缘侧墙,形成第一介质层,形成第二介质层;同时刻蚀去除部分所述第一介质层和部分第二介质层,以形成源极接触孔和栅极接触孔。本申请能够同时刻蚀形成源极接触孔和栅极接触孔,降低了工艺流程的复杂程度以及制造成本。

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  天眼查资料显示,无锡华润微电子有限公司,成立于2002年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本57000万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡华润微电子有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目2904次,财产线条,此外企业还拥有行政许可192个。

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