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华润微电子申请半导体器件制造方法专利能够形成不同长度的沟道

作者:小编    发布时间:2026-04-15 23:17:26    浏览量:

  国家知识产权局信息显示,无锡华润微电子有限公司申请一项名为“一种半导体器件及其制造方法、电子装置”的专利,公开号CN121865646A,申请日期为2024年10月。

  专利摘要显示,本申请提供一种半导体器件及其制造方法、电子装置,该方法包括:提供衬底,在衬底上形成第一掩膜层,第一掩膜层中形成有至少两个第一开口;对衬底进行第一离子注入,形成至少两个第一体区;在第一开口的侧壁上形成第二掩膜层,第二掩膜层的宽度为第一宽度;进行第二离子注入,在第一体区中形成第一源区;形成填充第一开口的介质层;去除位于第一体区之间的第一掩膜层,形成第二开口;在第二开口的侧壁上形成第三掩膜层;进行第三离子注入,在衬底中形成第二体区;在第三掩膜层的侧壁上形成第四掩膜层,第四掩膜层的宽度为第二宽度,第二宽度大于或小于第一宽度;进行第四离子注入,在第二体区中形成第二源区。本申请能够形成不同长度的沟道。

  天眼查资料显示,无锡华润微电子有限公司,成立于2002年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本57000万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡华润微电子有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目2901次,财产线条,此外企业还拥有行政许可192个。

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