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先导微电子取得新型晶圆吹扫盘专利有效解决晶圆中心位置灰尘颗粒难吹净问题

作者:小编    发布时间:2026-01-25 10:02:35    浏览量:

  国家知识产权局信息显示,江苏先导微电子科技有限公司取得一项名为“一种新型晶圆吹扫盘及装置”的专利,授权公告号CN223829769U,申请日期为2024年12月。

  专利摘要显示,本申请公开了一种新型晶圆吹扫盘及装置,涉及半导体制造技术领域,其中新型晶圆吹扫盘,包括吹扫盘本体;吹扫盘本体内设有进气腔道、中心吹扫腔以及多个环形腔道;中心吹扫腔设置于吹扫盘本体内部中心位置;进气腔道一端与中心吹扫腔导通,另一端延伸出吹扫盘本体外;多个环形腔道环绕中心吹扫腔设置,且沿吹扫盘本体的中心向外依次间隔分布;中心吹扫腔与最内侧的环形腔道导通;相邻环形腔道连接导通;吹扫盘本体的一侧面上对应中心吹扫腔以及环形腔道的位置,对应设有分别连通中心吹扫腔以及环形腔道的出气孔。该设计有效解决晶圆件表面尤其是中心位置灰尘颗粒很难被完全吹扫干净的问题。

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  天眼查资料显示,江苏先导微电子科技有限公司,成立于2021年,位于徐州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本58824万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏先导微电子科技有限公司参与招投标项目21次,财产线条,此外企业还拥有行政许可13个。

  声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

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