金融界2025年7月29日消息,国家知识产权局信息显示,锐立平芯微电子(广州)有限责任公司申请一项名为“一种制造侧墙的方法和半导体器件”的专利,公开号CN120390446A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本公开提供了一种制造侧墙的方法和半导体器件,可以应用于半导体技术领域。该制造侧墙的方法包括:在衬底上形成栅极;在栅极的侧壁上形成牺牲侧墙;在侧壁上形成有牺牲侧墙的栅极的相对两侧,形成源/漏区,源/漏区的顶面低于栅极的顶面,其中,牺牲侧墙介于栅极与源/漏区之间;选择性去除牺牲侧墙,以释放栅极与源/漏区之间的空间;以及在衬底上沉积电介质材料,电介质材料部分地填充空间,且在空间中留有气隙,气隙的顶部低于源/漏区的顶面。
天眼查资料显示,锐立平芯微电子(广州)有限责任公司,成立于2022年,位于广州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本238888.888889万人民币。通过天眼查大数据分析,锐立平芯微电子(广州)有限责任公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目1次,财产线条,此外企业还拥有行政许可11个。
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