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安徽天达申请一种电子元器件制造用集成电路光刻装置专利达到无污染清洗的效果

作者:小编    发布时间:2024-11-12 18:46:55    浏览量:

  金融界2024年11月12日消息,国家知识产权局信息显示,安徽天达网络科技有限公司申请一项名为“一种电子元器件制造用集成电路光刻装置”的专利,公开号CN 118926217 A,申请日期为2024年9月。

  专利摘要显示,本发明公开了一种电子元器件制造用集成电路光刻装置,包括夹持机构、清洗涂液机构、集成电路板和主体,所述主体包括操作箱,所述操作箱的数量设置为四个,四个所述操作箱均固定安装于主体的顶部,其中一个所述操作箱的内部设置有夹持机构和清洗涂液机构,所述集成电路板卡接于夹持机构的内壁启动喷液控制器,干冰喷射器通过扩散喷口对准集成电路板喷射清洗,利用干冰颗粒在冲击瞬间气化,产生热冲击现象的原理,使集成电路板表面的污渍颗粒碰撞升华,达到无污染清洗的效果,之后转变成集中喷口并启动伸缩气缸,进一步对集成电路板表面进行高压清洗,且集中喷口的喷射力随伸缩气缸的输出端下移逐渐加重,最终使下压板下压第二弹簧并产生形变。

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