金融界2024年11月12日消息,国家知识产权局信息显示,安徽天达网络科技有限公司申请一项名为“一种电子元器件制造用集成电路光刻装置”的专利,公开号CN 118926217 A,申请日期为2024年9月。
专利摘要显示,本发明公开了一种电子元器件制造用集成电路光刻装置,包括夹持机构、清洗涂液机构、集成电路板和主体,所述主体包括操作箱,所述操作箱的数量设置为四个,四个所述操作箱均固定安装于主体的顶部,其中一个所述操作箱的内部设置有夹持机构和清洗涂液机构,所述集成电路板卡接于夹持机构的内壁启动喷液控制器,干冰喷射器通过扩散喷口对准集成电路板喷射清洗,利用干冰颗粒在冲击瞬间气化,产生热冲击现象的原理,使集成电路板表面的污渍颗粒碰撞升华,达到无污染清洗的效果,之后转变成集中喷口并启动伸缩气缸,进一步对集成电路板表面进行高压清洗,且集中喷口的喷射力随伸缩气缸的输出端下移逐渐加重,最终使下压板下压第二弹簧并产生形变。
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